由甘肃省经济委员会、甘肃省科学技术厅组织,原中国真空学会副理事长、航天五院兰州物理所所长达道安研究员主持,邀请中科院兰州近物所、化物所、兰州大学、兰州理工大学等有关专家组成的鉴定委员会,于2007年3月16日对兰州真空设备有限责任公司研发的“JP-3000型磁控溅射镀膜机”和“ZZL-2200/2.5宽幅连续镀膜设备”两项新产品进行了鉴定。经认真地对各项技术文件和样机的审查、讨论后认为,两项产品的性能指标均达到产品的设计技术条件,并形成如下鉴定意见:
一、JP-3000型磁控溅射镀膜机具有以下创新点:
1. 该设备真空室体尺寸为φ3000×5000mm,可在3800×1800×900mm的三维空间的任意位置实现良好的镀膜效果,是目前国内最大的磁控溅射镀膜专用设备。
2. 该设备采用无油低温泵高真空系统,极限真空度达到2×10-4Pa;采用新型高真空调节阀实现了对抽气速率的有效调节。
3. 采用计算机控制的7轴镀膜真空机械手系统,移动磁控溅射源逐行逐片地完成扫描镀膜,解决了复杂曲面工件的多层真空镀膜的均匀性,属国内首创。
4. 该设备的加热装置采用模块化设计,实现了对不同形状镀制件的工艺性烘烤。
鉴定委员会认为:该产品达到同类产品国际先进水平。

二、“ZZL-2200/2.5宽幅连续镀膜设备”具有以下创新点:
1. “ZZL-2200/2.5宽幅连续镀膜设备”幅宽达到2.5米,是我国目前镀铝膜市场最大幅宽的连续镀膜设备;
2. 设备采用双水冷镀膜辊结构,有效地解决CPP流延塑料薄膜镀膜难度大、镀膜质量不稳定的关键技术问题;
3. 该设备卷绕速度达到500m/min,沉积速率快,膜层均匀性好。是连续生产包装镀铝膜的理想设备。
鉴定委员会认为:该产品达到同类产品国内领先水平。

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