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      洁净真空获得是实现洁净真空环境的基础。洁净真空获得设备是所有洁净真空装备不可或缺的组成部分，直接影响到真空成套装备的性能质量，应用量大面广。传统的低真空、高噪声、高污染（油、粉尘、杂质）的真空获得设备根本无法实现集成电路等先进装备的工艺过程，更低噪声、更低污染（无油、无粉尘、无杂质）、清洁环保的洁净真空获得设备成为必然的需求。

    罗茨干泵是一种容积式真空泵，其工作原理与罗茨鼓风机相似。用于集成电路（IC）生产线上的罗茨干泵（机组）集成了真空技术、精密机械加工技术、真空动密封技术、动平衡技术等多个学科的前沿高新技术和特种加工工艺。目前国内IC生产线所需的罗茨干泵（机组）全部依靠进口。国产罗茨干泵（机组）存在的主要问题是振动噪声大、轴封漏油以及长期运行的可靠性有待提高等。

    沈阳科仪公司基于在真空技术、精密机械设计与加工、计算机自动控制、无油真空获得设备等方面的雄厚技术储备和人才优势，成功研制出应用于集成电路生产线的罗茨干泵（机组），并于日前通过了辽宁省科技厅组织的科技成果鉴定。鉴定委员会听取并审查了工作报告、技术报告、测试报告和查新报告等材料，考察了研制现场，形成如下鉴定意见：

    沈阳科仪公司罗茨干泵（机组）由单级罗茨增压泵与多级罗茨干泵构成，可以直排大气，属高端无油真空获得产品。该产品在转子型线设计、密封材料及结构、泵体材料、电机动密封等方面实现了自主创新，攻克了型线设计、动密封设计、振动噪声抑制、泵腔及转子防腐等关键技术，主要性能指标达到国际先进水平。该产品填补了国内空白，可替代进口，具有广阔的市场前景和重大的社会效益；产品达到国内领先、国际先进水平。

    与会专家一致建议沈阳科仪公司进一步开发罗茨干泵（机组）系列化产品，尽快实现罗茨干泵（机组）国产化，扩展应用领域，促进我国IC装备产业和真空相关产业的发展。

                                              2007年1月14日